臭氧是一種混合氣體，其濃度通常用質量比和體積比表示。質量比是指單位體積混合氣體中含有的臭氧量，體積比是指單位體積臭氧的體積含量或百分比含量，表示為2%、5%、12%等。所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。衛生行業常用Ppm表示臭氧濃度，即臭氧占每立方米臭氧混合氣體體積的百萬分之一為1ppm。臭氧濃度是衡量臭氧發生器技術含量和性能的重要指標。在相同的工作條件下，臭氧的輸出濃度越高，其質量越高。
　　一、影響臭氧濃度的主要因素如下：
　　1、臭氧發生器的結構和加工精度。
　　2、冷卻方法和條件。
　　3、驅動電壓和頻率。
　　4、臭氧發生器電介質材料。
　　5、原料氣的含氧量、清潔度和干燥度。
　　6、發電機供電系統效率，且效率高，熱量轉換少。
　　臭氧是一種氧化性很強的不穩定氣體，臭氧的輸出濃度受多種因素影響，其中腔體溫度是重要的因素之一，臭氧產生是臭氧濃度值與進入臭氧發生器的總氣體量的乘積。